型號

01VS401

01VS402

行程(mm)

5

15

臺面尺寸(mm)

62X65

80X80

導(dǎo)程(mm)

0.5

1

分辨率 (mm)

0.00002

0.00004

重復(fù)定位精度(mm)

0.003

0.005

垂直方向速度(mm/s)

6.25

14.4

靜轉(zhuǎn)矩（Ncm）

40

40

中心負(fù)載(kg)

5

7

自重(kg)

1.1

1.5